Danh mục sản phẩm
Liên hệ với chúng tôi

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Công ty TNHH


Địa chỉ:

Nhà máy số 19, TusPark, Century Avenue,

Thành phố Tể Thiên, Thiểm Tây Pro., 712000, Trung Quốc


Điện thoại:

+ 86 29 3358 2330

+ 86 29 3358 2349


Số fax:

+ 86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Đường dây nóng dịch vụ
029 3358 2330

Tin tức

Trang chủ > Tin tứcNội dung

Hướng dẫn và các biện pháp phòng ngừa khi sử dụng các mục tiêu xáo trộn kim loại

Các hướng dẫn và các biện pháp phòng ngừa cho việc sử dụng các Mục tiêu Phát tán kim loại

Trước tiên, chuẩn bị phun

Điều rất quan trọng là giữ cho khoang chân không, đặc biệt là hệ thống phun xả sạch sẽ. Bất kỳ dư lượng nào được tạo ra bằng dầu bôi trơn và bụi bẩn trước khi sơn sẽ thu thập hơi nước và các chất gây ô nhiễm khác, trực tiếp ảnh hưởng đến mức độ chân không để có được và tăng khả năng bị hỏng film. Các mục tiêu phát tán kim loại Vòng mạch hoặc vòng cung bắt đầu ngắn, độ mài mòn của bề mặt film và các tạp chất hóa học thường bị vượt quá do phòng tháo rời, phun pháo và mục tiêu gây ra. Để duy trì thành phần của các đặc tính của lớp phủ, khí thổi (argon hoặc oxy) phải sạch và khô, buồng phun vào bề mặt sau khi cần phải tách không khí để đạt được quy trình chân không cần thiết. Khu vực che chắn tối, tường khoang và các bề mặt liền kề cũng cần phải được giữ sạch sẽ. Trong quá trình làm sạch buồng chân không, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng phương pháp phun cát bằng kính thủy tinh để xử lý các bộ phận bẩn đồng thời với không khí nén để loại bỏ khoang xung quanh chất thải trước khi phun, và sau đó nhôm ngâm tẩm giấy nhám nhẹ nhàng trên bề mặt đánh bóng. Sau khi đánh bóng gạc, sau đó rửa bằng cồn, kim phun kim nhắm mục tiêu acetone và nước deionized, và đề nghị sử dụng máy hút bụi công nghiệp để làm sạch phụ trợ.

THẬN TRỌNG: Khi sử dụng mục tiêu, giữ găng tay bảo hộ sạch sẽ và không được bảo vệ và tránh tiếp xúc trực tiếp với mục tiêu

Thứ hai, mục tiêu sạch sẽ

Mục đích của việc vệ sinh mục tiêu là loại bỏ bụi hoặc chất bẩn có thể có mặt trên bề mặt của mục tiêu.

Kim loại mục tiêu có thể được làm sạch bằng bốn bước,

Bước đầu tiên trong acetone được ngâm trong khăn mềm không có vải không sạch;

Bước thứ hai tương tự bước đầu tiên với rượu;

Bước thứ ba là rửa bằng nước khử. Sau khi rửa bằng nước khử trùng, mục tiêu đặt vào lò nướng và sấy khô ở 100 ° C trong 30 phút.

Vệ sinh các chất ôxít và gốm mục tiêu làm sạch bằng "vải không có sệt".

Bước 4 Sau khi loại bỏ vùng bẩn, Metal Sputtering Mục tiêu rửa mục tiêu bằng argon ở áp suất cao và độ ẩm thấp để loại bỏ tất cả các tạp chất có thể gây ra các vòng cung trong hệ thống phun

Thứ ba, cài đặt mục tiêu

Điều quan trọng nhất cần lưu ý trong quá trình lắp đặt mục tiêu là đảm bảo rằng một kết nối nhiệt tốt được thiết lập giữa mục tiêu và bức xạ làm mát bằng súng phun. Nếu độ cứng của tường làm mát là nghiêm trọng hoặc sự uốn cong của tấm sau là nghiêm trọng, nứt hoặc uốn xảy ra khi mục tiêu được gắn kết, và tính dẫn nhiệt của mục tiêu trở lại tới mục tiêu sẽ bị ảnh hưởng rất lớn, mục tiêu của Metal Sputtering nhiệt trong quá trình phún xạ Phân phối cuối cùng sẽ dẫn đến mục tiêu nứt hoặc khơi

Để đảm bảo đủ độ dẫn nhiệt, một lớp graphite có thể được đệm giữa bức tường làm mát catốt và mục tiêu. Hãy chắc chắn kiểm tra cẩn thận và làm rõ sự phẳng của bức xạ làm mát bằng súng phun được sử dụng trong khi đảm bảo vòng O-ring luôn luôn ở đúng vị trí.

Do mức độ sạch sẽ của nước làm mát và sự ô nhiễm của thiết bị trong quá trình hoạt động của thiết bị, cần phải kiểm tra và làm sạch thùng chứa nước làm mát bằng catốt khi lắp đặt mục tiêu để đảm bảo dòng chảy của nước làm mát và đầu vào và đầu ra sẽ không bị chặn.

Một số thiết kế catốt nhỏ hơn với khoảng cách cực dương, mục tiêu của Metal Sputtering Targets do đó việc lắp đặt các mục tiêu cần đảm bảo rằng các cathode và anode không tiếp xúc với dây dẫn không thể tồn tại, nếu không nó sẽ tạo ra một mạch ngắn.

Tham khảo hướng dẫn của nhà sản xuất thiết bị để biết thông tin về cách cài đặt đúng mục tiêu. Nếu bạn không có thông tin này trong hướng dẫn sử dụng, hãy cố gắng làm theo các khuyến nghị được cung cấp. Khi thắt chặt các vật cố định, trước tiên thắt chặt một bu lông bằng tay, và sau đó tay thắt chặt một tia khác trên đường chéo, Metal Sputtering Targets sẽ lặp lại cho đến khi lắp tất cả các bu lông, và sau đó thắt chặt công cụ The